지정된 압력에서 정해진 플로우로 제작된 플로우 스탠더드에서 정해진 플로우 율의 ±1%까지.

(칼리브레이션이 이루어지는 시간의 기온과 기압의 압력을 보정함으로써 표준 조건으로 계산된 모든 플로우 율)

NIST의 추적 가능한 표준에 의해 측정된 플로우 율과 압력 값들. 각각의 플로우 표준을 갖춘 칼리브레이션 공증.

정확도

칼리브레이션 지점에서 비율의 ±1.2% 또는 ±0.1 sccm 중 더 큰값

- 플로우 정확도는 최상의 불확실성에 근거합니다. 최상의 불확실성은 적용 범위 요인 K=2를 사용한 약 95%

확실성 레벨에서 규정된 확장된 불확실성을 나타냅니다.

플로우 범위

ISO 17025로 제작된 플로우 스탠더드는 리크 또는 플로우 범위(0.5에서 45,000sccm)내에서 이용이 가능합니다.

0에서 0.5sccm 까지의 플로우 율도 이용 가능합니다.(조건을 검토하기 위해 CTS社와 연락을 취하십시오.)

압력 범위

압력 범위 -14.7에서 500psig 이내에서 이용가능

완전한 조립

제작된 플로우 스탠더드는 다음 조립품 중 한가지로 실링됩니다.

• 일반적인 적용(1/8" FNPT 엔드 피팅)
• 센티넬 B-21/I21 장비와 호환 가능
• 센티넬 C-20 장비와 호환 가능
• 주문형 설치 구성

모든 조립품에는 인렛 필터가 포함됩니다. 대부분의 조립품은 배기 필터 또한 포함합니다. 특정한 조립품은 오리피스

카달로그 번호의 제품으로 지정됩니다.

재 증명

현재 플로우 율이 측정되어 이전 칼리브레이션과 원래의 정해진 값에 비교됩니다. 만약 현재 플로우 값이 허용되는 오차 범위를

벗어나면 새로운 오리피스가 마지막 교정된 값의 ±1% 플로우 값으로 제공됩니다. 측정된 플로우 값에 대한 새로운 NIST/A2LA

증명이 발행됩니다.

교정된 리크/플로우 스탠더드

주문 정보

520-LR-Press-Mounting 교정된 리크/플로우 조립

플로우 단위에서 규정된 리크 율(예:10sccm)

0.5에서 50.000 sccm범위 이내(정해진 압력에 의해 제한될 수 있음)

0에서 0.5sccm 범위 이내(정해진 압력에 의해 제한될 수 있음)

압력 단위에서 규정된 압력(예:100psi)

-14.7에서 299 psig범위 이내

300에서 500psig범위 이내

연결부 프로세스와 설치 조립 부품

• 1 - 직렬 조립 부품(양쪽 끝의 1/8" FNPT 연결부)
• G - 일반 조립 부품(한쪽 끝 부분에만 1/8"FNPT 연결부)
• 21 - 센티넬 B-21/I21 장비 메니폴드에 대한 일직선의 나선형 조립 부품
• C20 - C - 20 - S 장비 메니폴드에 대한 CPC 퀵 커넥트 조립 부품
• C20FC - 센티넬 C-20-F/C(빠른 가압 또한 사이클론) 장비에 대한 미니어쳐 조립 부품
• 1/8MNPT - 한쪽 끝의 1/8"MNPT 연결부를 이용한 컴팩트한 조립 부품
• U - USON 리크 스탠더드를 위한 대체 유닛
• 24 - 센티넬 M24장비 메니폴드에 대한 미니어처 조립 부품
• M10 * 1.0 - 브레이크 캘리퍼 블리더 저항기 포트에 대한 조립 부품
• M10 * 1.5 - 브레이크 캘리퍼 블리더 저항기 포트에 대한 조립 부품
• A -ATEQ 리크 스탠더드를 위한 대체 유닛
• 3 - 고객이 제공하는 조립 부품

원하는 압력 값을 규정함으로써 지정된 추가 칼리브레이션 포인트

이용가능한 표준 조립 부품에서 CTS 플로우 스탠더드 재 증명

다른 플로우 스탠더드, 특별한 조립 부품 또는 제품 오리피스의 재 증명은 CTS에서 이용 가능합니다.