Temptronic ThermoChucks 시리즈는 온도를 제어하며 웨이퍼를 테스트할 수 있는 전도식 가열 및 냉각 시스템입니다.
주요 용도는 프로브 스테이션(Probe Station)에서의 웨이퍼 테스트, 레이저 트림(Laser Trim) 및 웨이퍼 번인(Wafer Burn-in) 공정입니다.
특수 응용 분야로는 극미세 전류 탐침(fA 수준의 Low leakage probing) 및 고전압 탐침(최대 10kV의 High voltage probing) 등이 있습니다.